型号：MLA650F
生产厂家：美国FEI
技术参数：
扫描电镜：
1、分辨率：二次电子(SE)成像：高真空模式：30 kV时 1.0 nm；背散射电子(BSE)成像：高真空模式：30 kV时2.5 nm；
2、加速电压: 200 V - 30 kV
3、放大倍数: 6 x-1,000,000 x
能谱仪：
1、探头类型：电制冷硅漂移(SDD)探测器，无需液氮
2、探测器面积：30 mm2
3、能量分辨率(Mn Ka):在100,000 CPS条件下优于133 eV
4、可分析元素范围：Be4~Am95
主要功能：
扫描电镜:
1、利用二次电子像对导电干燥样品进行表面微区形貌观察（表面几何形态、形状，尺寸），缺陷检查；
2、利用背射电子像进行元素分布的定性分析
能谱仪:
1.配合电镜在材料微区表面做点、线、面的元素分布分析
样品要求：
1、样品应无毒性、无腐蚀性、无放射性、无磁性；通常来说
2、低熔点材料、电子束照射下会分解或释放出气体的样品不能检测；
3、粉末样品：直接粘贴于双面导电胶上；
4、块体样品：尽可能小块，表面平整，同一批次的样品高度相同，不能有粉尘出现。
